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洁净厂房设计规范之微振控制

日期:2017-12-18   作者:
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第四节微振控制

341条 洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道,应采取积极隔振措施。

 

 

342条 对洁净厂房内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较,以确定对其采取必要的田振措施。

 

 

343条 精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时,应对气温进行处理,使其达到洁净室的空气洁净度等级。