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电子集成化解决方案

电子集成化解决方案

  • 分类:案例
  • 发布时间:2021-05-17 17:34:51
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概要:
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净化方案一

组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组台式空气处理机组里含有各种功能段,如混台段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
方案特点∶
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;
B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

 

净化方案二

水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
方案特点∶这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为无级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

 

净化方案三

分体空调柜机+FFU送风口
这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
方案特点∶
A、无尘车间的洁净度∶ LCD制屏的简略流程为∶清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
B、温湿度要求∶温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
C、新风量大
D、送风量大

 

等级

等级说明及车间应用

1级

这个级别的无车车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米

10级

这个级别的无车车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业

100级

很多人认为,这一级无车车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误的将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。

1000级

这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机陀螺仪,装配高质微型轴承等

10000级

万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用

100000级

十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造,大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医药工业也常常使用这一级无尘车间

 

洁净室(区)空气洁净级别表

洁净度级别

尘粒最大允许数/立方米>=0.5um尘粒数

>=5um尘粒数

微生物最大允许数浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100级

3500

0

5

1

10000级

350000

2000

100

3

100000级

3500000

20000

500

10

300000级

10500000

60000

1000

15

 

光学微电子净化工程换气参数

换气次数

100000>=15次;10000级>=20次;1000级>=30ci ;

压差

主车间对相邻房间>=5pa

平均风速

10级、100级0.3-0.5m/s

温度

冬季>16℃;夏季<26℃;波动+-2℃;湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电

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